1.Integriertes Design des optischen metallographischen Mikroskops und des Rasterkraftmikroskops, leistungsstarke Funktionen
2.Es verfügt sowohl über optische Mikroskop- als auch Rasterkraftmikroskop-Bildgebungsfunktionen, die beide gleichzeitig arbeiten können, ohne sich gegenseitig zu beeinflussen
3.Gleichzeitig verfügt es über die Funktionen der optischen zweidimensionalen Messung und der dreidimensionalen Messung mit dem Rasterkraftmikroskop
4. Der Lasererkennungskopf und der Probenscantisch sind integriert, die Struktur ist sehr stabil und die Entstörung ist stark
5. Präzisionssondenpositionierungsgerät, Laserpunktausrichtungseinstellung ist sehr einfach
6. Die einachsig angetriebene Probe nähert sich der Sonde automatisch vertikal, sodass die Nadelspitze senkrecht zur Probe abgetastet wird
7. Die intelligente Nadelzuführungsmethode der motorgesteuerten, unter Druck stehenden piezoelektrischen Keramik-Automatikerkennung schützt die Sonde und die Probe
8. Optisches Positionierungssystem mit ultrahoher Vergrößerung zur präzisen Positionierung der Sonde und des Probenscanbereichs
9. Integrierter Benutzereditor für nichtlineare Korrektur des Scanners, Nanometercharakterisierung und Messgenauigkeit besser als 98 %
Spezifikationen:
Betriebsart | Touch-Modus, Tap-Modus |
Optionaler Modus | Reibung/Querkraft, Amplitude/Phase, magnetische/elektrostatische Kraft |
Kraftspektrumkurve | FZ-Kraftkurve, RMS-Z-Kurve |
XY-Scanbereich | 50*50um, optional 20*20um, 100*100um |
Z-Scanbereich | 5 um, optional 2 um, 10 um |
Scanauflösung | Horizontal 0,2 nm, vertikal 0,05 nm |
Probengröße | Φ≤68mm, H≤20mm |
Beispielhafte Etappenreise | 25*25mm |
Optisches Okular | 10X |
Optisches Objektiv | Apochromatische Planobjektive 5X/10X/20X/50X |
Beleuchtungsmethode | LE Kohler Beleuchtungssystem |
Optische Fokussierung | Grober manueller Fokus |
Kamera | 5MP CMOS-Sensor |
Anzeige | 10,1-Zoll-Flachbildschirm mit grafikbezogener Messfunktion |
Scangeschwindigkeit | 0,6Hz-30Hz |
Scanwinkel | 0-360° |
Betriebsumgebung | Betriebssystem Windows XP/7/8/10 |
Kommunikationsinterface | USB2.0/3.0 |