1. Der Laser-Erkennungskopf und die Probenscanningstufe sind integriert, die Struktur ist sehr stabil und die Anti-Interferenz ist stark
2. Precision -Sondenpositionierungsgerät, Laserspot -Ausrichtungsanpassung ist sehr einfach
3. Die Probe des Antriebs der Achse-Achse nähert sich automatisch der Sonde vertikal, sodass die Nadelspitze senkrecht zum Probenscan ist
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5.Automatische optische Positionierung, keine Notwendigkeit, sich zu konzentrieren, Echtzeitbeobachtung und Positionierung des Scanbereichs der Sondenprobe
6. Spring Suspension Schocksicherer Methode, einfacher und praktischer, guter schocksicherer Effekt
7. Metallabschützte Schallschutzkasten, eingebaute Hochvorbereitungstemperatur- und Feuchtigkeitssensor, Echtzeitüberwachung der Arbeitsumgebung
8. Integrierter Scanner Nichtlinearer Korrekturbenutzereditor, Nanometer -Charakterisierung und Messgenauigkeit besser als 98%
| Betriebsart | Berührungsmodus, Tippen Sie auf Modus auf |
| Optionaler Modus | Reibung/Seitenkraft, Amplitude/Phase, magnetische/elektrostatische Kraft |
| Kraftspektrumkurve | FZ-Kraftkurve, RMS-Z-Kurve |
| XY -Scanbereich | 20*20um, optional 50*50um, 100*100um |
| Z Scanbereich | 2.5um, optional 5um, 10um |
| Scan -Auflösung | Horizontal 0,2 nm, vertikale 0,05 nm |
| Probengröße | Φ ≤ 90 mm, H ≤ 20 mm |
| Probenbühnenreise | 15*15 mm |
| Optische Beobachtung | 4x optisches objektives Objektiv/2,5um Auflösung |
| Scangeschwindigkeit | 0,6 Hz-30 Hz |
| Scanwinkel | 0-360 ° |
| Betriebsumgebung | Windows XP/7/8/10 Betriebssystem |
| Kommunikationsschnittstelle | USB2.0/3.0 |
| Schockabsorbierende Design | Frühlingspulen-/Metallabschützer Box |
